食具消毒是利用物理或化学方法杀灭清洗过的食具中病原微生物的过程。市场上五花八门的消毒柜从功能上说，通常只有高温消毒、臭氧消毒和紫外线消毒3种消毒方式，以及它们之间的组合消毒方式，比如目前市场上流行的“上层为臭氧保洁，下层为红外线加热”的消毒方式。
电热型消毒柜是利用高温发挥杀菌作用。高温对细菌有明显的致死作用。细菌中的蛋白质因受热而发生变性凝固，活性消失，代谢发生障碍，导致死亡。电热型消毒柜的消毒温度应≥100℃，消毒时间应≥15。
臭氧消毒柜是利用臭氧的强氧化性进行消毒。臭氧在常温下为带蓝色的爆炸性气体，有特臭，为已知强的氧化剂之一，是一种光谱杀菌剂。但是臭氧泄漏会危害人体健康，作业现场空气中答应的阀限值为0.2mg/m3。所以臭氧型消毒柜需在保证臭氧不泄漏的情况下，保持柜内臭氧的浓度，以确保消毒效果。
臭氧加紫外线食具消毒柜是利用紫外线和臭氧作为消辣手段的消毒柜。消毒灭菌使用的紫外灯应是高臭氧紫外灯，紫外线的波长范围是200～275nm ，其中杀菌作用强的波段是250～270nm。用于消毒的紫外灯在电压为220V时，辐射的253.7nm紫外线强度应不低于70μW/cm2。紫外线辐射能量低，穿透力弱，仅能杀灭直接照射到的微生物，因此消毒时必须使消毒部位充分暴露于紫外线下。紫外灯同时产生臭氧，也起到杀菌作用。
随着技术的不断发展，消毒柜新品的高技术含量主要体现在模糊逻辑化的控制、触摸屏式面板、数码、微电脑液晶显示和纳米等新材料的使用上。可以说，家电产品的新技术已全面使用在消毒柜上了。
臭氧为气体消毒剂，其杀菌的过程为强氧化作用使微生物细胞中的多种成分产生反应，从而产生不可逆转的变化的死亡。臭氧的灭活病毒是通过直接破坏其核糖核酸(RNA)或脱氧核糖核酸(DNA)物质完成的。而杀灭细菌、霉菌类微生物则是臭氧首先作用于细胞膜，使膜构成成分受损伤，导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透破坏膜内组织，直至杀死。湿度增加提高杀灭率，是由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏。除臭净化臭氧去除异味性能极好。依靠其氧化性能可快速分解产生臭味及其他气味的有机或无机物质。臭味的主要成分是胺R3N、硫化氢H2S、甲硫醇CH3SH等。臭氧对其氧化分解，生成物没有气味。
臭氧作为高效广谱无残余污染的气体消毒剂比食品行业常用的消毒剂(如过氧乙酸、高锰酸钾、甲醛、二氧化硫)等具有特殊的优越性臭氧会自行分解为氧气，不产生残余污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果
紫外线以光波辐射作用杀菌，只有照射到的位置且达到照射强度标准才有杀菌效果。食品加工车间很高、很大，照射强度与距离平方成反比，强度不够，照射又有很大死角。臭氧为气体，扩散性好，无死角，浓度均匀紫外线杀菌在相对湿度60%以上时效果急剧下降，80%湿度上时反可诱使细菌复活。臭氧则相反，湿度越高杀菌效果越好，对食品行业80%-90%高湿环境适合
很多消费者担心消毒柜的臭氧味对人身体造成伤害，其实适当的臭氧对身体没有影响，对空气有净化的作用，能杀灭空气中的致病菌；但如果臭氧浓度高了对身体会有影响，只要人没感觉不舒服是不会有影响的。
若臭氧气体过浓直接吸入对人体有害，臭氧消毒柜打开后稍过会取出餐具就可以了，采用臭氧消毒的餐具对人无害，消毒过后的餐具不需再次清洗，可以直接使用。臭氧是一种强烈氧化剂，能快速，彻底的杀灭餐具表面沾染的细菌，杀菌效果好。
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